從構成潔凈室整體的硬件來說，有以下幾部分：
（1）潔凈室圍護結構 由土建材料現場構筑或工廠預制的構件構筑。除了合理的平剖面規劃布置外，為滿足潔凈要求的建筑構造節點的設計和制作，也是重要的構成部分。
（2）空調凈化系統 在空調裝置的基礎上，強化空氣過來設施（三級過濾），控制正壓，保證足夠的風量。末級過濾器的性能對潔凈室具有關鍵作用，末端高效過濾器安裝的密封性也不可能忽視。
（3）附屬設備 為保證潔凈室的使用要求，應具有良好的人、物凈化設施，如空氣吹淋、傳遞窗、余壓閥......等，此外，用于監測潔凈室潔凈度級別的塵粒計數器等也是不可缺少的設備。